能量色散X射線分析主要由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。其原理就是：X射線管通過(guò)產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），來(lái)激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長(zhǎng)。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

 

　　元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線，因此，只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)或者能量，就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。

 

　　此外，熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)（或能量）分開，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。

 

　　能量色散X射線分析與能譜都能進(jìn)行元素定性定量分析，但是它們也有區(qū)別：

 

　　1、測(cè)試環(huán)境不一樣，能譜是配在電鏡上的，所以只能在真空環(huán)境下測(cè)試，而XRF則真空和大氣條件都可以；

 

　　2、激發(fā)源不一樣，能譜的激發(fā)源是電子束，X射線熒光自然是X射線，所以兩者的檢測(cè)深度不一樣，能譜一般只能檢測(cè)樣品表面，而XRF可以穿透樣品；

 

　　3、對(duì)樣品的要求不同，能譜需要樣品導(dǎo)電，前處理要噴金噴碳；XRF無(wú)需任何處理；

 

　　4、測(cè)量元素范圍不同，能譜可以測(cè)試Be~U，XRF能測(cè)到C~U；